VOYAGER-高性能电子束光刻系统

VOYAGER

是一个专用的高性能电子束光刻系统这尤其适用于需要在多用户设施中直接访问电子束光刻的任何情况。具有智能功能和创新系统架构的全自动超人体工程学系统确保最短的时间获得结果，使其适用于学术和工业环境。

功能包括

· 高度符合人体工程学的人机界面ErgoFlow

· 独特的配方图案技术算法xx

· 灵活的定向形状填充模式FLEXposure

· 无拼接错误的连续写入模式traxx和periodixx，基于移动平台技术

· 50 kV热场发射柱技术

· 全自动写场校准

· 自动聚焦和消像散装置

· 高分辨率和高吞吐量写入模式之间的自动切换

创新、稳定的高性能，易于使用，一切尽在掌握诱人的性价比在仪器的整个寿命期间。VOYAGER电子束光刻系统配有一个耐环境保护罩系统稳定性即使在不太理想的实验室环境中。

符合人体工程学的界面和自动EBL，可在最短的时间内获得结果

结合了瑞斯的eWrite技术。eWrite组合专用EBL电子光学图案发生器设计的最新创新，可自动进行系统校准和批量制造。在整个曝光作业中，所有需要的校正都是逐个像素地“动态”应用的，因此节省了大量的处理时间开销。根据不同的模式，可以获得超过1厘米/小时的写入速度最高分辨率.

自动化程度甚至更进一步，有了新的人体工程学人机界面，ErgoFlow。在这个智能工作流程的帮助下，每个人都可以使用专业光刻技术，无论专业水平如何。ErgoFlow补充了广泛使用的Raith Nanosuite标准软件并且由两个元素组成。
第一步，任何用户都可以轻松定义EBL作业，然后由更有经验的用户在第二步对其进行参数化和执行。凭借VOYAGER独特的样品调平系统，即使是手动调平及预对准也能自动完成，从而大大节省了时间提高您的效率.
由于它的简单易用,ErgoFlow甚至可以在不同的大学院系或工业部门之间利用跨学科研究和样本交换。

特征：

缝合和覆盖：

≤ 20纳米

束流稳定性：

≤ +/- 0.2 %/h

具有创新架构和独特应用解决方案的高性能电子束光刻系统

硬件和软件一直被设计用于自动曝光操作。独特的软件功能，如新的基于配方的图案化技术算法和基于连续移动平台的写入模式traxx和periodixx不仅帮助您提高效率，也是为了完善您的设备性能。