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电子束光刻是指什么

电子束光刻是指什么

电子束光刻是一种利用电子束在涂有电子抗蚀剂的晶片上直接描画或投影复印图形的光刻技术。电子抗蚀剂是一种对电子敏感的高分子聚合物,经过电子束扫描后,电子抗蚀剂的分子···
2024-03-05724
半导体中的 PECVD 等离子体增强化学气相沉积系统

半导体中的 PECVD 等离子体增强化学气相沉积系统

等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 是一种低温真空薄膜沉积工艺,由于它能够在无法承受更传统 CVD 工艺温度的表面上施加涂层,因此在半导体行业具有非常重要的地位。
2023-11-141745
喜报!北京瑞科中仪喜中400万共聚焦显微镜标的。

喜报!北京瑞科中仪喜中400万共聚焦显微镜标的。

北京时间2023年8月8日,北京瑞科中仪科技有限公司受东方国际招标有限公司以及北京大学医学部邀请参与北京大学医学部超高分辨激光共聚焦显微镜招标采购项目,经过层层选拔审···
2023-08-11818
图解丨蔡司 EVO 系列扫描电镜应用案例

图解丨蔡司 EVO 系列扫描电镜应用案例

蔡司 EVO 系列模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用,EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起, 同时能够吸引经验丰富的用户以···
2023-08-09784
扫描电镜的好“伙伴”——离子溅射仪

扫描电镜的好“伙伴”——离子溅射仪

离子溅射仪是扫描电子显微镜(SEM)最基本的样品制备仪器,在一些情况下,通过使用离子溅射仪可以帮助扫描电镜(SEM)获得更好的图像及特征点。我们都知道扫描电镜(SEM)基···
2023-06-16708
010-82900840