扫描电镜一般说的是扫描电子显微镜——SEM。
扫描电子显微镜不同于透射电子显微镜(TEM)和光学显微镜的,它是介于二者之间的一种高分辨率样品检测设备。扫描电子显微镜利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发样品的各种物理信息,再将收集到的信息进行放大,再进行成像,从而将物质微观的形貌表征出来。
扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm,放大倍数可以达到30万倍及以上,并且扫描电子显微镜的倍数连续可调。扫描电子显微镜的主要特点是景深大,视野广,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等。的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。
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